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      明明還要切割成方形,為何卻要把硅片做成圓形?
      來源:與非網(wǎng) | 作者:chnchip | 發(fā)布時(shí)間: 2021-03-24 | 3910 次瀏覽 | 分享到:

             在半導(dǎo)體行業(yè),尤其是集成電路領(lǐng)域,晶圓的身影隨處可見。


             晶圓就是一塊薄薄的、圓形的高純硅晶片,而在這種高純硅晶片上可以加工制作出各種電路元件結(jié)構(gòu),使之成為有特定電性功能的集成電路產(chǎn)品。

       

       

             但其實(shí),晶圓在實(shí)際應(yīng)用之中還是要被切割成方形的。那么硅片為什么要做成圓的而不是方的?

       

             因?yàn)橹谱鞴に嚊Q定了它是圓形的。因?yàn)樘峒冞^后的高純度多晶硅是在一個(gè)子晶(seed)上旋轉(zhuǎn)生長出來的。多晶硅被融化后放入一個(gè)坩堝(Quartz Crucible)中,再將子晶放入坩堝中勻速轉(zhuǎn)動(dòng)并且向上提拉,則熔融的硅會沿著子晶向長成一個(gè)圓柱體的硅錠(ingot)。這種方法就是現(xiàn)在一直在用的 CZ 法(Czochralski),也叫單晶直拉法。

       

             有人計(jì)算過,比較直徑為 L 毫米的圓和邊長為 L 毫米的正方形,考慮晶圓制造過程中邊緣 5 到 8 毫米是不可利用的,算算就知道正方形浪費(fèi)的使用面積比率是比圓型高的。所以,圓形是等周長時(shí)表面積做大的二維圖形,加工時(shí)能夠充分利用原料,在一片晶圓上能分出最多的芯片。

       


             在實(shí)際的加工制成當(dāng)中,圓形的物體比較便于生產(chǎn)操作。

       

             并且作為圓柱的單晶硅晶錠更便于運(yùn)輸,有效的避免了在運(yùn)輸途中磕碰損壞,邊角碎掉什么的造成材料損耗。

       

             嚴(yán)格意義上所有的晶圓都不是圓形的,仔細(xì)觀察會發(fā)現(xiàn)它其實(shí)是有缺一個(gè)小豁口。主要是為了方便讓設(shè)備對于晶圓進(jìn)行定位的,只有這樣在進(jìn)行 CPU 內(nèi)核的制作和切割的時(shí)候才更好確定方向。



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